電子ビーム露光装置 一式
- 官報「2010-06-07」日発行
- 官報掲載場所「政府調達（104号）」の「27ページ」目
- 調達機関番号「415番」（国立大学法人）
- 所在地番号「13番」（東京都）
入札情報
- 品目分類：24
- 種別：意見招請
- 調達方法 購入等
- 導入予定時期 平成22年度3月以降
- 調達に必要とされる基本的な要求要件Ａ 極細電子ビーム（直径5ｎｍ以下）を持つ電子ビーム露光装置。Ｂ つなぎ合わせ/位置あわせでの精度が必要である。Ｃ 高いスループット（すなわち、短いオーバーヘッド時間、早い偏向器、極細ビームでの高電流等）が好ましい。
- 資料及びコメントの提供方法
- 資料等の提供期限 平成22年7月9日17時00分（郵送の場合は必着のこと。）
- 提供先 〒152-8550 東京都目黒区大岡山2丁目12番1号 東京工業大学研究情報部外部資金支援課 筒井 朋寛 電話03-5734-3753
- 説明書の交付
- 交付期間 平成22年6月7日から平成22年7月9日まで。
- 交付場所 上記2(2)に同じ。
- 説明会の開催
- 開催日時 平成22年6月17日14時00分
- 開催場所 東京工業大学事務局3号館1階会議室
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