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- ホイスラー合金薄膜作製装置 一式(415)|アルバック販売株式会社(東京都中央区八…[4860万円](24)
- ホイスラー合金薄膜製造装置 一式(513)|株式会社エイコー(東京都千代田区神田東…[2499万9450円](24)
- ホイスラー合金薄膜製造装置用ロードロックチャンバーとスパッタ源およびDC電源(513)|株式会社エイコー(東京都千代田区神田東…[1599万1500円](24)
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