三次元アトムプローブシステム 一式の入札情報

三次元アトムプローブシステム 一式

• 官報「2011-03-22」日発行
• 官報掲載場所「政府調達（53号）」の「16ページ」目
• 調達機関番号「415番」（国立大学法人）
• 所在地番号「4番」（宮城県）

入札情報

• 品目分類：24
• 種別：意見招請
• 調達方法 購入等
• 導入予定時期 平成23年度9月以降
• 調達に必要とされる基本的な要求要件1．飛行時間型（ Time-Of-Flight）質量分析器を備えたイオン検出システム (1)高速位置敏感型ディレイライン検出器を有しており、一秒当たり3万個以上のイオンの検出が可能であり、かつサブナノメートルの空間解像度でＸ-Ｙ方向の位置情報が得られること。(2)収差補正型広角リフレクトロン(エネルギー補償器)を有しており、標準アルミニウム試料を7.5kV以上で測定した場合に 150 nm径以上の視野が得られること。(3) イオン飛行距離350mm以上の質量分析器を有し、1amu〜200amuを含む範囲以上の質量を分析でき、かつ標準アルミニウム試料を5kV以上で測定した場合のＡl 27＋ピークの質量分解能は1 ：1000以上（ＦＷＨＭ）が得られること。2．電界蒸発システム(1) 試料先端からのイオンの電界蒸発を発生させるためのベース電圧として高電圧電源を有し、試料（試料ステージ）に15kV以上のＤＣ電圧を印加できること。(2) 試料先端に電界を集中させ電界蒸発に必要な印加電圧を低減し、かつ質量分解能及び測定視野を広げることができる局所電極を有すること。(3) 試料先端からのイオンの電界蒸発の発生を制御し、かつ質量分析器のＴＯシグナルとしての高速パルス発生器を有し、局所電極に−1600V以上の引出電圧を印加できること。(4) 試料を保持する3軸移動試料ステージを有し、試料と局所電極間の相対位置を1μm以下の精度で制御できること。(5)試料を冷却するためのクライオシステムを有し、試料ステージの温度を25Ｋ以下まで冷却することができ、リアルタイムに試料ステージの温度をモニターして±0.1Ｋ以下の精度で温度制御できること。3．真空システム(1) 超高真空を維持するため、ロードロックチャンバー、ストレージチャンバー、分析チャンバーの3チャンバーで構成され、それぞれのチャンバーは独立した真空ポンプと、各チャンバー間を分離するゲートバルブで真空を保持し、各チャンバーの圧力をモニターする真空ゲージを有すること。(2) ロードロックチャンバーは、大気圧から 30分以内に1Ｅ−6Torr以下の真空に到達できること。(3) ストレージチャンバーは、15個以上の試料パックを真空下（1Ｅ−8Torr以下）で保管でき、ロードロックチャンバーと分析チャンバー間のバッファを兼ねること。(4) 分析チャンバーは、超高真空（1Ｅ−10Torr以下）を維持し、イオン検出システムと電界蒸発システムから構成されること。(5)超高真空を実現するためメンテナンス時に170℃以上のベーキング（脱ガス）が可能なヒータシステムを有すること。(6) ロードロックチャンバー〜ス トレージチャンバー〜分析チャンバー間の試料の移動ができる搬送系を有すること。4．ＦＩＭ（Field Ion Microscopy）システム(1) ＵＨＶリークバルブとガスシリンダーから構成される2系統のＦＩＭ結像ガス（He、Ne）供給システムとアトムプローブモードと共用のイオン検出器を有し、ＦＩＭ像を観察できること。(2) ＦＩＭモードで観察した画像をデジタル化して記録し再生できるＦＩＭ像観察ソフトウェアを有すること。

資料及びコメントの提供方法

資料等の提供期限 平成23年4月22日17時00分（郵送の場合は必着のこと。）

提供先〒980-8577 仙台市青葉区片平2-1-1 東北大学財務部資産・調達管理課調達管理第二係長樋口秀樹電話022-217-4869

説明書の交付

交付期間 平成23年3月22日から平成23年4月22日まで。

交付場所 上記2(2)に同じ。

説明会の開催

開催日時 平成23年3月29日11時00分

開催場所 東北大学金属材料研究所本多記念館3階視聴覚室

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