微細パターンプリントシステム 一式
入札情報
- 品目分類：24
- 種別：意見招請
- 調達方法 購入等
- 導入予定時期 平成22年度3月以降
- 調達に必要とされる基本的な要求要件Ａ 本システムは，以下の基本ユニットから構成される。ａ アライメントユニットｂ インプリントユニットｃ 焼成ユニットｄ アッシングユニットＢ アライメントユニットは以下の要件を満たすこと。ａ 基板サイズは150mm×200mm以上であること。ｂ ＸＹθステージのＸＹ方向の移動量は±5mm以上、最小設定単位は0.1cm以下であり、θ方向の移動量は±5°以上、最小設定単位は 0.00005°以下であること。ｃ Ｚステージの移動量は200mm以上であること。Ｃ インプリントユニットは以下の要件を満たすこと。ａ 基板サイズは150mm×200mm以上であること。ｂ インプリント方式はRoll to Sheet方式熱インプリントであること。ｃ 加熱温度は250℃以上であること。また、250℃における均熱性は±10℃以内であること。ｄ Ｘステージ、Ｚステージの移動量がそれぞれ300mm、200mm以上であること。ｅ 面圧は10MP
- 以上であることＤ 焼成ユニットは以下の要件を満たすこと。ａ 基板サイズは150mm×200mm以上であること。ｂ 加熱はＲＴＡ方式で、温度は750℃以上であること。ｃ 真空機構を有しており、到達真空度は1000Pa以下であること。ｄ 窒素および酸素雰囲気焼成が可能であること。Ｅ アッシングユニットは以下の要件を満たすこと。ａ 基板サイズは150mm×200mm以上であること。ｂ 使用ガスは窒素および酸素プラズマであること。
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