超高精度電子線描画装置 一式の入札情報

超高精度電子線描画装置 一式

• 官報「2012-01-16」日発行
• 官報掲載場所「政府調達（8号）」の「83ページ」目
• 調達機関番号「415番」（国立大学法人）
• 所在地番号「4番」（宮城県）

入札情報

• 品目分類：24
• 種別：意見招請
• 調達方法 購入等
• 導入予定時期 平成24年度6月以降
• 電子ビームの加速電圧が130keV以上であること。また、部品の交換を行うことなく、25〜130keVの範囲において5keV毎に可変できること。
• ビーム径は2nm以下であること。
• ビーム電流が可変できること。
• ビームの位置分解能が0.1nmより優れていること。
• つなぎ精度が50nmより優れていること。
• 重合せ精度が50nmより優れていること。
• ドット描画をビームのスポット形状を使って行う描画方式を有すること。
• 関数を使って円を描く描画方式を有すること。
• ベクタースキャン描画方式及びラスタースキャン描画方式を有すること。
• 複数のドーズ条件やフィールドサイズでの描画を連続的に行える描画方式を有すること。
• フィールドサイズが変調できる描画方式を有すること。
• 回転対称について描画できる方式を有すること。
• ＳＥＭ画像が取得でき、コンピュータに画像ファイルとして保存できること。
• ＳＥＭ画像に測長機能を有すること。
• ＳＥＭ画像の倍率は、液晶ディスプレイ上で300000倍以上であること。
• ＣＡＤソフトウェアを有すること。また、ＧＤＳＩＩ形式のＣＡＤファイルを描画装置用ファイルに変換できるソフトを有すること。
• オートレジストレーション機能を有すること。また、最初のグローバルマークの検出はマニュアルでも行えること。
• Ｘ軸、Ｙ軸の各ステージの移動範囲が150mm以上であること。また、Ｚ軸ステージの移動範囲は5mm以上であること。
• Ｘ軸、Ｙ軸の各ステージの位置検出について、分解能は1nmより優れていること。
• 試料としては直径2インチ、3インチ、4インチ、6インチのウェハを扱えるほか、20mm角を含む10mm角以上の不定形の小片も扱えること。
• 装置本体は磁性体で覆われていて、外部磁場の影響を受けにくい構造であること。
• 無停電電源を有しており、瞬間停電に対応できること。
• イオンポンプのバックアップ電源を有しており、施設の定期点検のために計画された7日間以内の停電に対応できること。
• 鏡筒や試料室を含む装置本体の温度を制御できること。

資料及びコメントの提供方法

資料等の提供期限 平成24年2月16日17時00分（郵送の場合は必着のこと。）

提供先〒980-8577 仙台市青葉区片平2-1-1 東北大学財務部資産・調達管理課調達管理第二係長樋口秀樹電話022-217-4869

説明書の交付

交付期間 平成24年1月16日から平成24年2月16日まで。

交付場所 上記2(2)に同じ。

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