二次イオン質量分析計（ＳＩＭＳ） 一式
入札情報
- 品目分類：24
- 種別：意見招請
- 調達方法 購入等
- 導入予定時期 平成22年度10月以降
- 調達に必要とされる基本的な要求要件Ａ ＳＩＭＳ装置本体には、酸素イオン源とセシウムイオン源の2種類のイオン銃が搭載されており、電気的陽性元素と陰性元素の分析が可能であること。Ｂ 一次イオンカラムに高真空排気系が備え付けられていること。Ｃ 試料導入用のロードロック機構が備え付けられていること。Ｄ 2つ以上の試料ホルダーを装置本体に導入でき、試料ステージの微小移動が可能であること。Ｅ 正及び負二次イオンの分析が可能であること。Ｆ 試料を大気に曝さずにＳＩＭＳ装置本体に導入できるガスフロー型グローブボックス（真空排気可能なもの）を有すること。Ｇ 装置の各種設定パラメータがホストＰＣによって調整が出来ること。
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