微細加工システム 一式
入札情報
- 品目分類：24
- 種別：意見招請
- 調達方法 購入等
- 導入予定時期 平成25年度9月以降
- イオン（ＦＩＢ）光学部は、以下の要件を満たすこと。ａ イオン源は液体ガリウムであること。ｂ 加速電圧は5kVから30kVまで可変できること。ｃ イオン電流は最大30nAに達すること。ｄ 分解能は、加速電圧30kVの条件下で、5nm以下であること。ｅ ＴＥＭ試料作製およびアトムプローブ試料作製に必要な精度で、2種類以上のガスデポジションができること。
- 電子光学部（ＳＥＭ）は、以下の要件を満たすこと。ａ 電子銃はサーマルショットキー電界放出型であること。ｂ 加速電圧は最小500Vから30kVで制御できること。ｃ 最大ビーム電流は20nA以上であること。ｄ 二次電子検出器、反射電子検出器、環状ＳＴＥＭ検出器を装備していること。ｅ 像分解能は、加速電圧15kVで1nm以下、加速電圧1kVで3nm以下であること。
- ＥＤＳ分析測定部は、以下の要件を満たすこと。ａ 分解能は133eV以下の性能を有し、検出元素範囲はBe〜Ｕ以上であること。ｂ 検出器はＳｉドリフトディテクターを装備し、液体窒素が不要のこと。ｃ 定性・定量分析、デジタル元素マッピング機能を有していること。ｄ ドリフト補正機能を組み込んでいること。ｅ 元素マッピングデータがＥＢＳＤマッピングデータと同期できること。ｆ 3次元マッピングデータのスライス可視化ができること。ｇ スタンダードレスの定量測定の精度が、Al2O3標準試料にて± 0.5％以内であること。
- ＥＢＳＤ結晶構造方位測定部は、以下の要件を満たすこと。ａ 検出器はカメラ本体がデジタルＣＣＤカメラであること。ｂ 画素数はカメラ本体の有効画素数が1300×1030以上であること。ｃ 画像転送方式はギガイーサーネットであること。ｄ 回折像取込角は70°以上であること。ｅ 検出器駆動は測定位置⇔退避位置間はモーター駆動であること。ｆ 検出器可動部はメタルベローシールで真空保持に配慮されていること。ｇ 電子線制御は正方格子配列および正六角形格子配列の各中心点に電子線を連続照射できること。ｈ 制御は検出器カメラ本体のゲイン、シャッタースピード、コントラスト、ブライトネスをソフトウェアから制御できること。ｉ 3次元マッピングデータのスライス可視化ができること。
- 試料ステージ部は、以下の要件を満たすこと。ａ ステージの移動範囲は、Ｘ-Ｙ軸が50mm以上、Ｚ軸が10mm以上であること。ｂ チルト軸の調整できる範囲は−10°から＋70°で、回転軸については360°連続的に駆動が可能であること。ｃ 全ての軸駆動が、Piezo駆動あるいはモータ駆動であること。ｄ ＸＹのステージ駆動の再現性は 1.0μm以下であること。
- コンピュータ制御部は、以下の要件を満たすこと。ａ 同一のソフトウエアインターフェースで、電子銃およびイオンカラムの電流条件設定が可能であること。ｂ 各ビームにおける画像を同時に観察できること。ｃ 取り込み画像を各種形式（ＴＩＦＦ、ＢＭＰ、ＪＰＥＧ）に変換できること。ｄ 赤外線ＣＣＤカメラによって試料室内をモニタできること。
- 真空排気制御部は、以下の要件を満たすこと。ａ ターボ分子ポンプが装備され、 2.6×10-4Paの真空度まで到達できること。
- ユーティリティ部は、以下の要件を満たすこと。ａ 冷却水循環装置を装備していること。ｂ 72時間以上の電力供給停止でも本体のシャットダウンが不要な無停電電源装置を装備していること。ｃ コンプレッサーを装備していること。
- ＳＥＭ-ＦＩＢ複合機として以下の要件を満たすこと。ａ ＦＩＢ加工過程をＳＥＭにてリアルタイム観察が出来ること。ｂ ＦＩＢビームと SEM電子ビームの同時照射が可能であること。ｃ ＴＥＭ試料作製およびアトムプローブ試料作製が可能であること。ｄ 自動機能にてＦＩＢスライス加工、同一視野でのＳＥＭ画像取得（ＥＢＳＤ、ＥＤＳ測定含む）を繰り返す機能を有すること。ｅ 取得したデータを3次元構成する機能を有すること。
- 耐震対策及び除震機能として以下の要件を満たすこと。ａ 耐震対策については、本装置に必要な対策を行うこと。ｂ 東北大学片平キャンパス北東角に建設予定の産学連携開発拠点（仮称）1Ｆ南側の共用実験室3にて、上記の性能が得られるための除震機能を有していること。（尚、同建物は免震構造の建築物となっている。また同室には、特に電子顕微鏡用の除震装置は備えていない。）
参考になるかもしれない落札情報
- 微細加工システム
- 6件
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