三次元アトムプローブシステム 一式
入札情報
- 品目分類：24
- 種別：意見招請
- 調達方法 購入等
- 導入予定時期 平成25年度3月以降
- 飛行時間型（Time-Of-Flight）質量分析器を備えたイオン検出システムａ 高速位置敏感型ディレイライン検出器を有しており、一秒当たり最大3万3千個のイオンを検出し、かつサブナノメールの空間解像度でＸ−Ｙ方向の位置情報が得られること。ｂ 収差補正型広角リフレクトロン（エネルギー補償器）を有していること。ｃ イオン飛行距離380mm以上の質量分析器を有していること。
- 電界蒸発システムａ 試料先端からのイオンの電界蒸発を発生させるためのベース電圧として、高電圧電源を有していること。ｂ 試料先端からのイオンの電界蒸発の発生を制御し、かつ質量分析器のＴ0シグナルとしての高速パルス発生器を有していること。ｃ 試料を保持する3軸移動試料ステージを有していること。ｄ 試料先端に電界を集中させ電界蒸発に必要な印加電圧を低減できる局所電極を有していること。ｅ 試料を冷却するためのクライオシステムを有していること。
- 真空システム 超高真空を維持するためロードロックチャンバー・ストレージチャンバー・分析チャンバーで構成されていること。各チャンバーの圧力をモニターする真空ゲージを有すること。
- データ解析システムａ 解析機能を有すソフトウェアを付属すること。ｂ 原子クラスターを検出する機能を有するソフトウェアを付属すること。ｃ データ統計機能を有するソフトウェアを付属すること。
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