ナノデバイス微細加工システム 一式
- 官報「2010-06-16」日発行
- 官報掲載場所「政府調達(111号)」の「36ページ」目
- 調達機関番号「415番」(国立大学法人)
- 所在地番号「27番」(大阪府)
入札情報
- 品目分類:24
- 種別:意見招請
- 調達方法 購入等
- 導入予定時期 平成22年度3月以降
- 調達に必要とされる基本的な要求要件A 最小描画線幅は5nm以下であること。B ビーム電流強度は5e-12〜5e-8nAであること。C 電子ビーム形状はガウス分布の円形スポットビームとし、最小電子ビーム径は1.7nmφ以下であること。D 電子ビームの最大加速電圧は125kV以上であること。また5段階の加速電圧設定(125kV、100kV、75kV、50kV、25kV)が可能なこと。E 画像検出部は二次電子検出器を2本以上搭載し、和信号及び差信号を表示すること。F 幅4m×奥行3m×高さ 2.6m程度で、室温変動幅±0.1℃(描画室)±0.3℃(制御室)の恒温ブースを用意すること。
- 資料及びコメントの提供方法
- 資料等の提供期限 平成22年7月20日17時15分(郵送の場合は必着のこと。)
- 提供先 〒565-0871 吹田市山田丘1-1大阪大学財務部吹田調達センター室調達第三係 多田 浩基 電話06-6879-4014
- 説明書の交付
- 交付期間 平成22年6月16日から平成22年7月20日まで。
- 交付場所 上記2(2)に同じ。
- 説明会の開催
- 開催日時 平成22年6月24日14時00分
- 開催場所 大阪大学産業科学研究所第2研究棟1階共同プロジェクト室
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