ＲＦマグネトロンスパッタ装置（Ｃ-7100ＧＴ）用ＲＦエッチングチャンバー 一式
- 官報「2013-03-21」日発行
- 官報掲載場所「政府調達（52号）」の「49ページ」目
- 調達機関番号「544番」（独立行政法人産業技術総合研究所）
- 所在地番号「8番」（茨城県）
落札情報
- 品目分類：26
- 調達方法：購入等
- 契約方式：随意
- 落札決定日：24.12.21
- 落札者：キヤノンアネルバ株式会社（神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1）
- 落札価格：77,175,000円（7717万5000円）
- 入札公告日：24.11.30
- 随意契約の理由：ｄ「互換性」
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