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- PECVD機能付きスパッタロールコータ 一式(415)|株式会社神戸製鋼所機械事業部門産業機械…[1億5960万円](26)
- TEOS PECVD装置 一式(415)|住友精密工業株式会社(東京都千代田区大…[3780万円](24)
- TEOS PECVDシステム 一式(415)|サムコ株式会社(京都府京都市伏見区竹田…[2959万2000円](24)
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